HTXBテストシステムは、以下の機能を有するパワーデバイス用高性能バーンイン装置です。主な仕様は以下の通りです。
- 温度範囲：室温から＋２6０°C
- 湿度範囲：10%から98％
- 対象デバイス：IGBT, DIODE, MOSFET, HEMT, BJT, SCRなど
- 測定内容：
- 高温時のGate Bias Test(HTGB)
- 高温時のReverse Bias Test (HTRB)
- 高温時の高電圧, 高湿度環境下でのReverse Bias Test（H3TRB）
- 最大印加電圧：6,000 Volt
- 測定確度
- IGES分解能：01nA、 IGES確度：１％ Reading +/-0.5nA
- ICES分解能：1uA、ICES確度：１％ Reading +/-0.5nA
- その他機能
- Data management
HTXBシステムが稼動中に、各デバイスの状況をPCやSmart Phoneでモニタすることが可能です。
