PM51 Media Transfer ハンドラ

PM51は、移送機および視覚検査ハンドラです。

•      入力メディアと出力メディアの任意の組み合わせ
•      入力（ウェーハ、ジェッデックトレイ、プラスチックチューブ、デテープ、ボウルフィーダ）
•      出力（ウェーハ、ジェッデックトレイ、プラスチックチューブ、テープ＆リール）
•      方向転換の柔軟性

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